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半导体自动化行业精密运动台知多少?

半导体做为高端制造业的代表,工艺对于精密性要求较高,对于自动化产品有着较为广泛的需求,受到业内的普遍关注。今年来国内半导体的自动化设备逐渐与发达国家的设备接轨中。其设备精度,良率的提高背后离不开一大批自主研发的高精度机械配件的支持。以下机械零配件的问世给半导体自动化设备注入了新的活力,期待中国的自主品牌设备快速走出中国,冲向欧美的一天!jnty!


一,机械转台

半导体自动化行业精密运动台知多少?(图1)

机械转台能实现T方向高精度,高刚度无限制旋转。 可广泛应用于圆晶,光伏电池生产等领域。

二,气动浮台


半导体自动化行业精密运动台知多少?(图2)

气浮转台以超薄的外形提供了出色的角度定位速度稳定性和误差运动性能旨在满足各种高精度设备制造的要求。

三,磁浮重力补偿垂向台


半导体自动化行业精密运动台知多少?(图3)

垂向采用了大行程磁浮重力补偿技术,很大程度地提高垂向运动性能和寿命。 可实现高精度上下方向定位的升降。

四,平面集成式XY台


半导体自动化行业精密运动台知多少?(图4)

采用了一体化、正交性设计理念,具有超薄的轮廓尺寸。能实现水平向 却Y轴2自由度的高精度、高刚度直线运动。

五,二维精密转台


半导体自动化行业精密运动台知多少?(图5)

采用了大尺寸中空和正交性设计思想。能实现俯仰和垂向旋转两个轴的高精度、高刚度360。 无限制旋转运动。

六,堆叠式XYZ三轴运动台

半导体自动化行业精密运动台知多少?(图6)

采用模块化超薄正交性设计等理念,将机械转台集成在XY模组上,能实现XY和T轴自由度的高精度高刚度直线运动。

七,堆叠式XYZ3T六轴运动台

半导体自动化行业精密运动台知多少?(图7)

半导体自动化行业精密运动台知多少?(图8)

将双Z轴多轴微动台标准模组 集成在堆叠式水平运动模组之上能实现X、Y、Rx、Rγ、T和Z轴6自由度的高刚度运动

好了,今天的自动化设备配件就介绍到这里。关注我,不迷路,我是非标自动化行业领航者,下期继续介绍自动化行业知识的分享!!


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